Несмотря на то, что электронный нанолитограф ZBA - это "старичок", разработанный в 1980-1990 годы, в Троицком подразделении ФИАН посчитали, что вернуть установку к жизни будет небесполезным. На постсоветском пространстве работало несколько сотен таких установок. Тем более, что в ходе реинжиниринга, часть узлов была переработана с учетом современных возможностей. Об этом сообщает ТАСС.

На воссозданной установке можно производить элементы спектрометров и компоненты, необходимые, например, для изготовления дифракционных оптических элементов и фазовых решеток для систем компьютерного зрения и микроскопии.

На ней были созданы дифракционные решетки скользящего падения с переменным периодом, - такие применяют в рентгеновской оптике.

Установка может работать с пластинами 150х150 мм.

В установке пучок электронов используется для структурирования поверхности специального полимерного материала (резиста). Полученные дифракционные структуры можно использовать в голографии, системах дополненной реальности, при создании масок для фотолитографии.

Насколько я понял из источника, на серийное производство установки в Троицке пока не замахивались, восстановили ее для собственных нужд.

--

За новостями телекома и IT удобно следить в телеграм-канале abloud62. Региональные новости и анонсы пресс-релизов вы найдете в канале abloudRealTime, также подключайтесь к каналу Бойко про телеком ВКонтакте

теги: микроэлектроника электронный литограф дифракционные пластины Россия

--