Микроэлектроника: «Детективная история» вокруг EUV-установки ASML – смог ли Китай заполучить одну из запретных для него установок?

20.06.2026, MForum.ru

Известно, что США не разрешают нидерландской компании ASML продавать в Китай (и в Россию) самые совершенные на нашей планете фотолитографы – EUV-типа (экстремельной ультрафиолетовой фотолитографии). Основанием для запрета является использование в этой установке американских технологий, прежде всего, лазерных, которыми США не хотят делиться с «недружественными странами». Но, как заявил министр торговли США Говард Лютник, у американской стороны есть серьезные подозрения, что одна из таких установок каким-то образом оказалась в Китае. Если эти подозрения подтвердятся, то это станет серьезной проблемой.

В ASML ожидаемо отвергли эти подозрения. Компания подчеркивает – она никогда не поставляла в Китай ни EUV-сканеры целиком, ни какие-либо их компоненты или модули. Весной 2026 года компания выпустила документ «No indication of any ASML EUV System in China» («Нет признаков того, что какая-либо из систем ASML EUV находится в Китае»). Документ утверждает, что в мире эксплуатируется 314 EUV-систем (колоссальное количество, если вдуматься), еще 26 выведены из эксплуатации, и ни одна из систем не базируется в Китае.

В ASML указывают на то, что с учетом размеров установок, а каждая из них весит порядка 180 тонн, даже их перемещение между странами – серьезная инженерная задача. По мнению компании, «нельзя вот так просто» разобрать, перевезти и запустить такую установку без участия специалистов компании, даже если получится обнаружить и удалить все «маячки», которые содержит оборудование. Штатно поставленное оборудование постоянно передает данные в ASML, что затрудняет любые манипуляции с ним, не то, что перевозку. Проблема специалистов – решаемая. На рынке труда есть специалисты, которые имеют опыт работы в ASML, например, те же пенсионеры. Другое дело – как обойти мониторинг техническими средствами. Но, в теории, на любой хитрый болт найдется не менее хитрая гайка.

Американцы, в свою очередь, говорят о том, что у них якобы есть данные о поставках ASML в Китай специализированного оборудования для транспортировки EUV-сканеров. Доказательство косвенное, да и раскрывать конкретику в США не спешат (если она вообще есть).

В теории, никаких фактов, может быть, и нет, просто в США постоянно работают над тем, чтобы максимально сократить доступ Китая к передовым западным технологиям, которые могут помочь в развитии искусственного интеллекта. В этом контексте, претензии к ASML могут предъявляться в рамках «силовых переговоров», целью которых может быть, например, запрет ASML обслуживать DUV-системы, поставленные ранее в Китай. ||

Читать RUSmicro в Telegram | на MForum | в ВК

теги: микроэлектроника EUV-установки ASML производственное оборудование фотолитографы EUV-сканеры EUV-фотолитографы конфликты

Публикации по теме:

23.10.2019. Рынок оборудования для производства микроэлектроники