Литература, посвящененная микроэлектронике и производству полупроводников --   Микроэлектроника

Аваев Н.А. Основы микроэлектроники: учебное пособие / Н. А. Аваев, Ю. Е. Наумов, В. Т. Фролкин. - М.: Радио и связь, 1991. - 287 с.

Агаханян Т.М. Интегральные микросхемы: учебное пособие / Т. М. Агаханян. - М.: Энергоатомиздат, 1983. - 464 с.

Готра, З. Ю., Технология микроэлектронных устройств: справочник / З.Ю. Готра. - М.: Радио и связь, 1991. - 527 с.

Дюваль, Пьер. Высоковакуумное производство в микроэлектронной промышленности: пер. с англ. / П. Дюваль - М.: Мир, 1992. - 263 с.

Епифанов Г.И. Физические основым микроэлектроники: учебное пособие / Г. И. Епифанов. - М.: Советское радио, 1971. - 375 с.

Легостаев Н.С. Микроэлектроника: методические указания по изучению дисциплины / Н.С. Легостаев, К.В. Четвергов. – Томск: факультет дистанционного обучения, ТУСУР, 2012. – 90 с. 

Легостаев Н.С. Микроэлектроника: слайды / Н.С. Легостаев, К.В. Четвергов. – Томск: факультет дистанционного обучения, ТУСУР, 2012. – 303 слайда.

Легостаев Н.С. Микроэлектроника: учебное пособие / Н.С. Легостаев, К.В. Четвергов. - Томск: Эль Контент, 2013 - 172 с., . ISBN 978-5-4332-0073-9

Основые микроэлектроники: учебник / И. Е. Ефимов, И. Я. Козырь. - 3-е изд., стер. - СПб.: Лань, 2008. - 384 с.

Парфенов О.Д. Технология микросхем: учебное пособие / О. Д. Парфенов. - М.: Высшая школа, 1986. - 320 с.

Плазменная технология в производстве СБИС: пер. с англ. / под ред. Н. Айнспрука, Д. Брауна. - М.: Мир, 1987 - 469 с.

Степаненко И.П. Основы микроэлектроники: учебное пособие для вузов / И.П.Степаненко. - 2е изд. - М.: Лаборатория Базовых Знаний, 2000. - 488 с.

+

Подписывайтесь на Telegram-канал, посвященный микроэлектронике

+ +