Японская Noritake в сентябре 2026 года сообщила о разработке полировального пада LumiDia (полирующий диск из гибкого полимерного материала с закреплёнными в нём абразивными зёрнами - микроалмазами). Пад предназначен для полировки пластин карбида кремния (SiC) и керамических подложек.

((картинки - компании Noritake, адаптированные с помощью ИИ,
не получилось до конца их вычистить, но суть передают,
идея публикации - канал @TechPublisher))

Сейчас для работы с SiC, материалом твердым и хрупким, обычно используют алмазную суспензию. Для нее требуется так называемое алмазное зерно, которое должно постоянно подаваться в зону обработки. Поставки алмазного зерна в наши непростые в плане геополитики времена - нестабильны даже в экономиках вне санкций.

В продукте LumiDia алмазные зерна закреплены в структуре пада (задействована собственная технология Noritake, основанная на сочетании органических и неорганических компонентов), кроме пада для процесса полировки нужна только вода. Этот метод дает меньше промышленных отходов, ниже расход абразива, при сопоставимой производительности.

Не менее важно то, что новый подход позволяет качественно полировать кромку (торец) SiC-пластины. Это криволинейная поверхность, где суспензия плохо удерживается, что негативно сказывается на эффективности обработки. В случае использования пада LumiDia, зерна работают из структуры пада, решая непростую задачу. Если кромка останется шероховатой, повысится риск сколов, трещин, прилипания частиц - это снижает надежность приборов, выход годных, негативно сказывается на характеристиках изделий. Особенно на пластинах 8".

Noritake намерена активно внедрять поды LumiDia в отрасли.

💎 Успех LumiDia будет зависеть от того, насколько быстро Noritake сможет масштабировать производство и убедить производителей SiC в экономической эффективности замены привычной суспензии. ||

--

✓ Подпишитесь на RUSmicro в Telegram | в Max

--

теги: микроэлектроника производственное оборудование полировка пластин SiC полировальный пад производственные технологии инструменты расходники

--