Микроэлектроника: В Зеленограде вскоре заработает производство фотошаблонов - НТЦ ФШ

MForum.ru

Микроэлектроника: В Зеленограде вскоре заработает производство фотошаблонов - НТЦ ФШ

25.06.2026, MForum.ru

НТЦ ФШ (Научно-технический центр фотошаблонов) планируется создать на базе НИУ МИЭТ. Ввод производства в эксплуатацию ожидается еще до конца 2026 года. Проектная мощность центра - не менее 5.5 тысяч фотошаблонов в год с перспективой наращивания до 10 тысяч в год. Об этом рассказывает CNews.


К выпуску намечены бинарные и сложные бинарные (с элементами коррекции оптической близости) и фазосдвигающие фотошаблоны: 350 и 250 нм в 2026-2027 году. В 2028-2029 планируется освоить 180-90 нм; к 2030 году - 65 нм; в перспективе - 28 нм.

Предприятие оснастят 73 единицами производственного оборудования: 49 зарубежных установок и 24 - российские, включая, например, многолучевой лазерный генератор изображения DUV (250нм), установка контроля топологии и поиска дефектов на фотошаблонах с хромовым маскирующим покрытием.

Совокупный бюджет проекта оценивается не менее, чем в 31.7 млрд.

-- 

Читать новости телекома в tg-канале или в ВК: Бойко про телеком в VK

--

теги: фотошаблоны инвестиции господдержка производство фотошаблонов НТЦ ФШ

--

© Алексей Бойко, MForum.ru


Публикации по теме:

03.02.2026. Минский Планар запустил производство фотошаблонов и микрооптики



Поиск по сайту:


Колонка редактора

11.11. МегаФон и МТС объявляют совместную позицию по вопросам текущего взаимодействия с банками

11.11. Российские корпоративные клиенты всё охотнее рекомендуют отечественную технику

11.11. Microsoft давит на администрацию президента США, выступая против запрета импорта чипов из Китая

11.11. МТС включила сеть LTE на склонах горнолыжного комплекса «Снегорка»

10.11. Обвинения в шпионаже вокруг Nvidia могут завершиться принятием законов, еще более ограничивающих доступ Китая к ИИ-чипам и современному оборудованию для их производства

10.11. Странная сделка в Японии – Mitsui Chemical покупает бизнес JSR

10.11. Infineon больше не может расширять мощности по производству чипов без «форвардных контрактов»

10.11. Билайн обеспечил мобильную связь на речном маршруте в Москве

10.11. Эйфелева башня и центральный парк Волгограда получили обновленную сеть МТС

10.11. МегаФон четвёртый год подряд стал «платиновым» работодателем

10.11. МТС улучшила покрытие в Ворсме Нижегородской области

09.11. Nexperia подала иск в Нидерландах против своего китайского владельца Wingtech и основателя компании

09.11. В Москве почти 9 тысяч наземных опор связи. Почему город в нижней десятке рейтинга TelecomSpot?

09.11. eSIM от Билайна - мобильный интернет в 164 странах

09.11. В Индии готовят регуляторику для массовой D2D сотово-спутниковой связи

Все статьи >>


Новости

11.11. Утечка раскрыла ёмкость батарей и общие черты iPhone 18 и 18e

11.11. OnePlus 17 может войти в число широкоэкранных флагманов 2027 года

11.11. В сети появились макеты iPhone Air 2 и iPhone 18

10.11. Oppo Pad Air6 с 12.1" экраном 120 Гц и Dimensity 7360 Super представлен официально

10.11. Bixby в One UI 9.5 получит автоматические задачи

10.11. Vivo работает над серийным АКБ ёмкостью 11 970 мАч

09.11. Серия Huawei Nova 17 получит 200-МП камеру и новые дисплеи

09.11. Realme 17 Pro – утечка указывает на батарею емкостью 10 000 мАч и Dimensity 7300

09.11. Утечка о Xiaomi 18 подтверждает 100-ваттную зарядку

06.11. Motorola представила Moto Watch 2 Fit и Moto Buds 2 Ultra

06.11. Motorola Signature 27 с АКБ 7000 мАч и 200-МП перископом представлен официально

05.11. Honor готовит смартфон с батареей 14 000–15 000 мАч

05.11. Утечка показывает дизайн в стиле Pixel 11 Pro Fold

05.11. Утечка о Samsung Galaxy A38 раскрыла батарею 6000 мАч

04.11. Утечка раскрыла характеристики и сроки выхода iPhone 18, 18e и Air 2

04.11. Утечка о Redmi Turbo 6 Max указывает на 7-дюймовый 2K-экран частотой 185 Гц

04.11. Vivo Y32 5G – АКБ 8000 мАч, Snapdragon 4 Gen 2 и защита IP69

04.11. OnePlus Turbo 6Vs представлен в Китае – тот же Turbo 6V в новом цвете

03.11. Redmi M100 Pro с Dimensity 7300-Ultra и тройной камерой представлен в Китае

03.11. Rogbid Model R5 – смарт-часы на полноценном Android с SIM-картой за $129.99