Изготовлено 2 эксимерных лазера (Лассард) с длиной волны 193 нм. Разработаны и изготовлены фотошаблоны, стенд для измерения и контроля. Проект идет со сравнительно небольшой задержкой в несколько месяцев.

Обсуждать коммерческие контракты на поставку таких литографов с ЗНТЦ можно будет с 2027 года.

В работах по разработке принимал участие белорусский Планар.

Стоимость установки оценивается в 542.2 млн рублей. Разработка обошлась на порядок дороже, только бюджетных денег обещано порядка 5.7 млрд (данные CNews). Совокупная потребность российского рынка оценивается в 15-25 установок в ближайшие 5-7 лет.

Теперь можно будет заняться разработкой модификации под 90 нм? ||

--

✓ Подпишитесь на RUSmicro в Telegram | в Max

--

теги: микроэлектроника фотолитографы 130нм отечественное оборудование производственное оборудование оборудование для производства полупроводников

--