Рынок оборудования для производства микроэлектроники  --  Микроэлектроника

2025

2024.05 Ожидается двузначный рост рынка, то есть выше, чем на 10%, от значения примерно в $100 млрд. / TrendForce. 

2024

2024.05 Несмотря на интерес к EUV / EUV High-NA, в мире продолжается выпуск литографов для зрелых технологий. Литографы этого класса продают, в частности, ASML, Nikon, Canon. В 2023 году ASML продала 55 станков типа i-line этого типа (в 2022 году - 45 штук). Средняя цена таких литографов - около $4 млн, новые модели, например, ASML TWINSCAN XT:400 дороже почти вдвое.  

2024.05 Объем мирового рынка оборудования для производства микросхем (Wafer Fab Equipment; WFE) в 2024 году, по прогнозам, вырастет на 5% в годовом исчислении примерно до $100 миллиардов, что соответствует текущему историческому максимуму, зафиксированному в 2022 году. Лидер рынка - США, на втором месте - Япония с долей в 30%.  / TrendForce. 

2019

Крупнейшие производители оборудования для микроэлектронного производства. Источник: habr.com

Виды производственного оборудования

EUV-сканеры  

Производители фотолитографов для работы с пластинами

Австрия

EV Group (EVG)

Беларусь

Планар 

Германия

SÜSS MicroTec SE

https://www.suss.com/en/products-solutions/imprint-lithography  

https://www.suss.com/downloads/Imprint_Lithography_SUSS_MicroTec.pdf  - импринтная литография, с разрешением менее 100 нм, менее 50 нм. 

Китай

Shanghai Micro Electronics Equipment (Group) Co. Ltd

SSA/800-10W, с 2023 года - 28 нм (но на рынке эта информация считается пока что недостаточно подтвержденной)

SSA600 с поддержкой 90, 110 и 280 нм 

2023.12 Вроде как разработали 28 нм. Но это неточно. 

2022. Единственное в Китае предприятие, способное производить машины для фотолитографии серийно - 90нм DUV. Идет НИОКР литографических машин 45нм и 28нм. 

Нидерланды

ASML 

Линейка DUV-фотолитографов, EUV-фотолитографы (монопольно на 2024 год), до 2нм на 2024 год. 

США

Applied Materials 

2023.12 Оборудование наноимпринтинга для подложек (2 мкм), для МЭМС - до 100 нм, на пластинах до 200 мм. https://t.me/c/1712706654/28180  

Neutronix Quintel Inc. (NXQ)

Onto Innovation (Rudolph Technologies Inc.)

Veeco Instruments Inc.

Япония

JEOL Ltd.

Canon

Nikon

Tokio Electron

Оборудование для поддержки отдельных процессов, используемых в фотолитографии. https://t.me/c/1712706654/28196 

2024

У ASML сохраняется монополия на EUV-фотолитографы. В целом, только эта компания выпускает DUV-фотолитографы на техпроцессы ниже 28нм. Есть слухи об освоении китайской  Shanghai Micro Electronics Equipment (Group) Co. Ltd решения SSA/800-10W, с 2023 года, с разрешением 28 нм, но пока им не все верят. Компания выпускает оборудованеи по технпроцессам от 90нм и старше. В Японии еще производят фотолитограф DUV компании Canon и Nikon. Идет разработка литографов в России. Большинство других компаний выпускает либо контактные литографы, либо оборудование для поддержки отдельных процессов, используемых в фотолитографии. 

Поставщики производственного технологического оборудования, работающие на рынке России

Минатех, Москва

Поставщик решений ряда зарубежных производителей. Установки безмасковой литографии, контактной фотолитографии, плазменного травления, плаземенного осаждения, атомно-слоевого осаждения, электронно-лучевая литография, нанолитография, плазменная очистка, вакуумное напыление, установки осаждения графена, диффузионные печи, шлифовка, полировка и утонение пластин, планаризация и ХМП, очистка пластин и фотошаблонов, монтаж на пленку, ламинаторы пластин, УФ отверждение, растяжка.  minateh.ru 

НИИМЭ (Научно-исследовательский институт молекулярной электроники), Россия

2024.06 Ведущий российский научно-исследовательский центр по проведению научно-технологических исследований в области микро- и наноэлектроники, разработке и производству полупроводниковых изделий. Разрабатывает технологии многолучевой электронной литографии.  

НИИТМ, Россия 

https://niitm.ru/

2023.02 Разработана эскизная конструкторская документация и начато изготовление экспериментальных образцов технологических модулей кластеров плазмохимического травления (ПХТ) и плазмохимического осаждения (ПХО) для обработки пластин диаметром до 300 мм и уровня технологии 65 нм.
В рамках комплексного проекта АО НИИТМ разрабатывает и организует производство комплекта промышленно-ориентированных установок, объединенных единой роботизированной вакуумной транспортной системой загрузки-выгрузки пластин диаметром 200 мм из СМИФ-контейнеров для реализации следующих базовых технологических процессов (БТП) с уровнем технологии 180-65 нм:

• плазмоассистируемого атомно-слоевого осаждения диэлектрических, барьерных и затравочных слоев;
• плазмохимического травления поликристаллического кремния, нитрида кремния, гладких траншей в кремнии;
• плазмохимического травления глубоких отверстий в кремнии на основе Бош-процесса;
• плазмохимического удаления фоторезистов и очистки стенок отверстий от полимеров, оставшихся после травления кремния на базе Бош-процесса.

Семитек (SemiTEq), Россия

2024.06  один из ведущих российских производителей вакуумного технологического оборудования для электронной промышленности. В продуктовой линейке SemiTEq — установки молекулярно-лучевой эпитаксии, плазмохимического травления и осаждения диэлектриков, физического осаждения, быстрой термической обработки. Установки SemiTEq позволяют получать полупроводниковые материалы (эпитаксиальные гетероструктуры). 

ЭСТО (АО НПП ЭСТО), Россия

2023.02 Оборудование плазмохимического травления 65 нм - 28 нм (ионное и плазмохимическое), установка XORS-200A (200мм кластер XORS‑200A "является масштабированной копией аналогичной 300-мм процессной камеры");
формирование металлизации для различных ИС;
нанесение резистивных и проводящих покрытий;
нанесение многокомпонентных составов;
применение взрывной литографии;
вакуумное напыление металлов и прочее (магнетронное и ионно-лучевое)

Проводились испытания в целях проверки и оценки степени соответствия опытных образцов продукции и БТП требованиям технических заданий (ТЗ). nppesto.ru    

Участники рынка оборудования для производства полупроводников

Китай

ACM Research, Inc., США 

2023.02 поставщик промышленного оборудования для индустрии производства полупроводников. Компания располагает перспективной технологией акустически-кавитационной очистки SAPS-V, используемой для очистки кремниевых пластин. В отличие от традиционной ультразвуковой очистки, технология SAPS-V снижает брак при одновременном росте производительности. Интересно, что эта "американская" компания "живет" в Китае, где у нее есть и производство и разработка. 

Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc. China (AMEC), Китай

Beijing Huafon Measurement and Control Technology Co., Ltd. (Huafon Measurement and Control Technology Co.), Китай

2022. Оборудование для тестирования. Испытательные платформы для аналоговых испытаний. Установленная мощность - более 5 тысяч продуктов. 

Beijing Jingyi Jingwei Technology Co., Ltd. (Jingyi Jingwei Technology Co., Ltd. - Шуоке Микроэлектронка, ранее Шуоке Jingwei), Китай

2022. В основном выпускает оборудование для CMP. 

Beijing Yitang Semiconductor Technology Co., Ltd. (Yitang Semiconductor - Йи Тан), Китай

2022. Оборудование для производителей микросхем: сухого склеивания, сухого травления, быстрой термообработки, отжига на уровне миллисекунд. Более 300 патентов, более 3700 единиц установленного по всему миру оборудования.  

Beijing Zhongkexin Electronic Equipment Co., Ltd. (Чжункесинь), Китай

2022. Дочерняя компания Dianke Equipment. Специализируется на исследованиях и разработках, производстве и продаже устройств для ионной имплантации, а также на производстве и продаже фотогальванических продуктов, ионных имплантеров для IGBT, карбида кремния и производства аккумуляторов. 

China Micro Semiconductor Equipment Co.. Ltd, Китай

2022. Выпускает оборудование для производства микросхем. 

E-Town Semiconductor Technology, Китай

Hangzhou Changchuan Technology Co., Ltd., Китай

2022. Основана в 2008 году. Основные продукты: машины для тестирования, сортировки, зондовые станции, оборудования AOI, оборудования для автоматизации.  

Huahai Qingke Co., Ltd., Китай

2022. Производитель оборудования для микроэлектронного производства. Основные продукты включают: оборудование CMP, оборудование для разбавления, система подачи жидкости, оборудование для регенерации пластин, основные расходные материалы и услуги по техническому обслуживанию. Оборудование компании используется в процессах производства ИС и МЭМС, корпусирования, производства пластин. 

Kingsemi, Китай

NAURA Technology, Китай

2022. Занимается выпуском оборудования для производства полупроводников, вакуумного оборудования, оборудования для производства литиевых батарей и прецизионных компонентов. 4 основные производственные базы. Работает с покупателями в Европе, США и Азии.

Piotech, Китай

Pure Technology, Китай

2022. Основанная в 2000 году компания предоставляет "технологические решения высокой чистоты" производственным компаниям плюс соответствующие услуги. 

Shanghai Kaishitong Semiconductor Co., Ltd., Китай

2022. Предприятие, объединяющее научные разработки и производство оборудования с использованием технологии ионного излучения. Разрабатывает, производит, восстанавливает и продает устройства для имплантации ионов. Основные области применения - производство фотогальванических солнечных батарей, новых плоских дисплеев, полупроводниковых ИС. 

Shanghai Micro Electronics Equipment Group, Китай

2022. Единственное в Китае предприятие, способное производить машины для фотолитографии серийно - 90нм DUV. Идет НИОКР литографических машин 45нм и 28нм. 

Shanghai Wanye Enterprise Co., Ltd. (Ванье Энтерпрайз), Китай

2022. Основана в октябре 1991 года. После приобретения в 2018 году Shanghai Kaishitong Semiconductor Co., Ltd. вышла на рынок устройств для ионной имплантации. В 2021 году создала дочернюю структуру Jiaxin Semiconductor с планами, что она займется оборудованием для формирования ядра ИС - травления, осаждения пленки, быстрой термообработки. 

Shengmei, Китай 

2022. Специализируется на исследованиях и разработке, производстве и продаже оборудования для производства интегральных схем, упаковки и производства кремниевых пластин. 

Shenyang Xinyuan Microelectronics Equipment Co., Ltd., Китай

2022. Выпускает различное оборудование, используемое в производстве микроэлектроники. Например, распределитель клея, проявитель, распылитель клея, средства удаления клея, машина для валжного травления, машина для очистки одиночных чипов и т.п. Используются в производстве полупроводников, корпусировании, производстве MEMS, OLED, 3D-IC, PV и т.п. 

Tuojing Technology Co., Ltd., Китай

2022. Основана в 2010 году. Продукция компании включает оборудование для химического осаждения из газовой фазы с плазменным усилением (PECVD), оборудование для атомно-слоевого осаждения (ALD) и оборудование для химического осаждения из паровой фазы под атмосферным давлением (SACVD). Считается, что технические показатели продуктов компании - на мировом уровне. 

Wuhan Jingce Electronics Group Co., Ltd., Китай

2022. Основана в 2006 году. Исследования и разработка технологии плоскопанельных дисплеев, системы тестирования и испытаний полупроводников. 

Zhongwei, Шэньчжэнь, Китай

2022. Оборудование для производства устройств для обработки в микро- и наномасштабе. 

Нидерланды

ASM International, Нидерланды

2022 Входит в Топ-9 крупнейших производителей оборудования для производства микроэлектроники в мире

ASML Holding, Нидерланды

2022. Делит с американской AMAT первые два места в рейтинге Топ-10 крупнейших производителей оборудования для производства полупроводников. 

Оборудование для литографии - до 80% рынка в 2019 году (основные конкуренты - Canon и Nikon). Крупнейший производитель EUV-сканеров. 

Выручка в 2019 году - $12 млрд. Правительством страны по просьбе США запрещено поставлять новейшие литографические стеллеры китайским компаниям.

SUSS MicroTec, Нидерланды

Поставщик оборудования и технологических решений для полупроводниковой промышленности. 

США

ASM International, Нидерланды

2022.12 Занимает 9-е место в рейтинге крупнейших производителей оборудования для производства полупроводников. 

ACM Research, Inc., США

поставщик промышленного оборудования для индустрии производства полупроводников. Компания располагает перспективной технологией акустически-кавитационной очистки SAPS-V, используемой для очистки кремниевых пластин. В отличие от традиционной ультразвуковой очистки, технология SAPS-V снижает брак при одновременном росте производительности. Интересно, что эта "американская" компания "живет" в Китае, где у нее есть и производство и разработка. 

Applied Materials (AMAT), США 

Компания выпускает оборудование для всех стадий производства. 

2022 Делит с ASML первые два места в рейтинге Топ-10 крупнейших производителей оборудования для производства полупроводников. 
Выручка - $17 млрд в 2019 году.
С 1990 по 2017 год компания лидировала на рынке оборудования для производства полупроводниковых пластин. В 2018 году ее доля составляла 19,2%. Но ожидалось, что в 2019 году лидерство перехватит нидерландская ASML. / 3dnews.ru  

Axus Technology, США

Производство оборудования для производства микроэлектроники, например, IPEC 472 для химико-механической полировки слоев диэлектрика. 

KLA-Tencor, США

Решения для управления производством и метрологическое оборудование

2022. Занимает 5-е место в Топ-10 крупнейших производителей оборудования для производства полупроводников

Выручка в 2019 году - $4 млрд

Lam Research, США

Lam Research Corporation — американская компания, поставляющая оборудование для производства микросхем - прежде всего, для травления и напыления. Штаб-квартира компании располагается во Фримонте, штат Калифорния. Оборудование для гальванизации (электрохимического покрытия медью), химического осаждения из газовой фазы (CVD), атомно-слоевого осаждения (ALD), реактивного ионного травления и очистки. 

Франция

Riber, Франция

Производитель установок электронно-лучевой эпитаксии. Такая установка закуплена, например, в АО "Экран-оптические системы", Новосибирск.  

Япония

2024

2024.05 В Японии доля мирового рынка продаж производственного оборудования для производства микросхем - порядка $30 млрд, 30%, вторая после США. Апрель дал рекордный результат по продажам такого оборудования за месяц - за период в 17 месяцев. Да и в целом начало года, с января по апрель включительно - тоже рекордное. Усредненный за 3 месяца объем продаж (включая экспорт) в апреле - JPY 389.106 млрд, +15,7% гг. / TrendForce.  

Advantest, Япония

2022. Занимает 7-е место в Топ-10 крупнейших производителей оборудования для производства полупроводников

Canon Corp., Япония

оборудование для фотолитографии

Dainippon Screen Manufacturing, Япония

Disco Corp., Япония 

2022.12 Занимает 10-е место в рейтинге крупнейших производителей оборудования для производства полупроводников. 

Hitachi High Technologies, Япония

2022.12 Занимает 8-е место в рейтинге крупнейших производителей оборудования для производства полупроводников. 

Hitachi Kokusai Electric, Япония

Nikon Corp, Япония

оборудование для фотолитографии

SCREEN Semiconductor Solutions, Япония

2022. Занимает 6-е место в Топ-10 крупнейших производителей оборудования для производства полупроводников

Tokyo Electron Ltd (TEL), Япония

Производитель оборудования для различных технологических процессов в производстве микроэлектроники, в частности, фотолитографов и оборудования для травления вертикальных каналов в чипах памяти. Один из крупнейших в мире вендоров производственного оборудования для микроэлектронного производства. 

Новости

2022.11.22 Академик Александр Сергеев, научный руководитель Национального центра физики и математики (НЦФМ) заявляет, что рентгеновский литограф для производства современных чипов при условии коллаборации российских коллективов может быть создан за 2-3 года. 
В НЦФМ готовы такую коллаборацию предложить, с привлечением, в частности специалистов института прикладной физики РАН и в Федеральном ядерном центре в Сарове (технология рентгеновских зеркал) и также разработок института им. Седакова. Этих команд было бы достаточно с точки зрения технологий, но в коллаборации могли бы принять участие и другие, например, ГК Росатом. 
Что же, в теории и на бумаге такие проекты выглядят вполне жизнеспособно. Совсем иное - практическая реализация. Почему-то мы намного чаще слышим о тех или иных планах, чем о чем-то, что уже удалось создать, особенно, если речь не об изобретении какой-то пусть и уникальной, но штучной установки или вовсе лишь прототипа. 

2021.11.22 Минпромторг вложит 5,7 млрд рублей в надежде получить отечественную фотолитографическую установку, сообщает КоммерсантЪ. Победителем в конкурсе стал АО "Зеленоградский нанотехнологический центр (АО ЗНТЦ), работы должны быть сданы до ноября 2026 года. К сожалению, речь не идет о современных техпроцессах, минимальная топология, доступная установке будет - 130нм - 65нм. 
Впрочем, в стратегии развития отрасли предусмотрено и дальнейшая разработка отечественного оборудования. И поскольку "перепрыгивать" через те или иные этапы развития сложно, придется, видимо, повторять весь путь, проделанный зарубежными разработчиками в последние 20 лет.
Растущий интерес к созданию технологического оборудования для производства микроэлектроники - должен радовать всех, кто ратует за отечественную микроэлектронику. Cтоило бы не забывать также о фоторезистах и пластинах, то и другое также необходимо научиться производить в России. Да и САПР пока что остается зарубежным. Без решения и этих проблем говорить о независимости от зарубежных поставок не приходится.

2021.11.18 В Минпромторге, наконец, вспомнили, что театр начинается с вешалки, а микроэлектроника - с производственного оборудования. И заказали разработку программы по развитию электронного машиностроения, исполнителем будет "Мытищинский научно-исследовательский институт радиоизмерительных приборов", который освоит 99 млн руб. (Удивил ли вас этот выбор?). Об этом сегодня рассказывает Никита Королев, КоммерсантЪ. 
Сейчас в России практически нет отечественного производства средств производства для отрасли, производящей микросхемы. В целом, такие разработки доступны небольшому числу стран, т.к. требуют сочетания интеллектуального потенциала и мощных финансовых вливаний. Как правило, современное производственное оборудование не создается в недрах госпредприятий и учреждений, в основном ее разработкой занимаются крупные частные бизнесы, аналогов которых в России на сегодня нет.
В любом случае, пройденный зарубежными компаниями в режиме жесткой международной конкуренции путь нельзя будет повторить в России за несколько лет, да и средства на это вряд ли можно будет найти в необходимых объемах.
Так что заниматься темой отечественного производственного оборудования можно и нужно, но ни на какие быстрые результаты рассчитывать не стоит, если не предаваться успокоительному самообману.
И не будем забывать о том, что санкции могут торпедировать "перезапуск" отечественной микроэлектроники в любой момент, если в США сочтут это необходимым. Ведь такие важные составляющие процесса, как, например, фоторезисты, также не производятся в России.

2019.11.25 ASML станет лидером рынка оборудования для производства полупроводников по итогам 2019 года. 

----

Подписывайтесь на Telegram-канал RUS посвященный микроэлектронике или на Facebook-канал RUSmicro 

----