Цель всех этих работ - создать отечественный аналог установок Applied Materials и Evatec. Предполагаю, что речь идет о модели AM Endura HP EVD для парофазного осаждения (PVD), которая позволяет комбинировать разные технологические камеры для выстраивания многоступенчатых процессов. У Evatec есть, например, кластерное решение для магнетронного напыления Clasterline 300. Эта установка может наносить пленки не только алюминия, но и легированных составов (например, AlScN), это достигается за счет одновременной работы нескольких мишеней (ко-распыление).

Российская установка рассчитывается под пластины 200 мм и должна поддерживать техпроцессы 180-90 нм. Кроме алюминия должно быть можно наносить также титан и нитрид титана (для защитных покрытий и токопроводящих дорожек). Стоит отметить, что стоит задача не скопировать чье-то решение 1:1, а создать свое, современное. В частности, в российской кластерной установке скорее всего будут встроены роботизированные манипуляторы, которые будут автоматически перемещать пластины между модулями (они уже созданы и обкатаны в другой установке), кроме того, схема установки выбрана такой, чтобы можно было обслуживать отдельные ее узлы без остановки работы комплекса.

Для работы такой установки требуется создание «чистой комнаты» - это тоже сложная инженерная задача, но в России ее решать могут, при условии доступности закупок необходимого оборудования за рубежом, в основном, в Китае. Основная зона должна будет отвечать классу чистоты ISO 6, вспомогательные – ISO 8. Для этого требуется обеспечить фильтрацию воздуха от частиц размером до 0.3 мкм; стабильную температуру 22 +/- 2°C, влажность порядка 50%, а вибрации — не выше 6 мкм/с. Потребуются выстраивание систем подачи электроэнергии (с резервированием) и сверхчистых газов, а также постоянный контроль-мониторинг параметров среды.

Завершить разработку планируется до конца сентября 2030 года в кооперации с НИИТМ.

-- 

Читать RUSmicro в Telegram | на MForum | в ВК

--

теги: микроэлектроника промышленное оборудование НИИМЭ металлизация методом напыления кластерные установки господдержка производственное оборудование Элемент НИИМЭ Минпромторг

--