Уже не первое десятилетие во всем мире в качестве стандарта для производства микросхем используется оборудование кластерного типа.

Такие системы объединяют от 2 до 8 технологических установок с общей системой загрузки, позволяющих последовательно проводить ряд технологических процессов без выгрузки пластин в атмосферную среду помещения.

Это гарантирует минимальный уровень привносимой дефектности. Также модульная структура позволяет гибко конфигурировать оборудование в зависимости от потребностей и мощности производств и уменьшает площадь, занимаемую оборудованием, ввиду использования общей транспортной системы для всех технологических модулей.

Все эти факторы влияют на снижение себестоимости продукции и улучшают качество чипов.

Оглавление материалов по теме ПХО и ПХТ - здесь

--

За новостями наземного и спутникового телекома удобно следить в телеграм-канале abloud62. Региональные новости телекома, новости искусственного интеллекта и ЦОД вы найдете в канале abloudRealTime, новости микроэлектроники можно найти в моем канале RUSmicro, также подключайтесь к каналу Бойко про телеком ВКонтакте

теги: микроэлектроника ПХО ПХТ плазмохимического производственное оборудование Элемент НИИМЭ НИИТМ

--