Дополнительная сессия Вопросов и Ответов с генеральным директором НИИМЭ Александром Сергеевичем Кравцовым и Михаилом Георгиевичем Бирюковым, генеральным директором АО НИИТМ, 10 декабря 2025, на встрече посвященной успешному завершению разработки кластеров ПХО и ПХТ для обработки пластин диаметром 300 мм. 

Сегодня упоминались техпроцессы 90 нм, 65 нм и 28 нм. А 45 нм не упоминался. Можно ли «перепрыгнуть» через какой-то техпроцесс, сразу пойти ниже?

▫️ Александр Кравцов, НИИМЭ: В мире техпроцессы разрабатывались эволюционно. Сейчас у нас есть возможность при необходимости «перепрыгивать» некоторые из них. Хотя, конечно, проще двигаться последовательно, от технологической ступени к ступени. Это если говорить именно о технологиях, без «привязки» к нашим разработкам. Есть, конечно, и качественный порог. Техпроцессы 90нм, 65нм, 45нм, 28нм – планарные и потому схожие. Если брать 14нм-12нм, то это уже переход к FinFET. Он создает принципиальную разницу, сложнее туда двигаться. И ниже – там тоже есть качественные «скачки» сложности. Пока речь о планарных технологиях, можно, конечно, перескочить через тот или иной уровень.

Производятся ли в России пластины 300 мм (не структуры на пластинах 300 мм, а непосредственно пластины)?

▫️ Михаил Бирюков, НИИТМ: Пока не производятся. Но внимание к теме соответствующее есть. Наша работа – первая из темы 300 мм в программе ЭлМаш.

- -

Почему выбрали кластерный подход, ведь отдельные установки, по идее, легче продать?

▫️ Михаил Бирюков, НИИТМ: При объединении в единый транспортный цикл нескольких техпроцессов существенно падает привносимая дефектность за счет того, что пластина несколько раз не выносится из установки, это также ускорение процессов, упрощение внутритранспортной логистики. К тому же оборудование становится более компактным, а каждый квадратный метр в чистом помещении – это немалые инвестиции и операционные расходы.

В целом ответ на вопрос, что эффективнее – отдельная установка или кластер, зависит и от конкретной операции, от ее длительности. Кластер особенно эффективен, когда речь идет о множестве коротких операций, за счет преимущества во времени транспортировки.

- - 

В этой логике, нет ли необходимости иметь возможность объединения, например, двух кластеров?

▫️ Михаил Бирюков, НИИТМ: Мы над этим думали. Но здесь встает вопрос транспортного времени передачи пластины между роботами. Сделать это можно, но транспортное время тогда начнет приближаться к времени обработки. Не будет такого преимущества, которое дает кластер на 4-6 модулей.

Пару месяцев назад мы получили патент, рассматривали линейный транспорт, причем на эффекте маглева. Линейно можно хоть 20 модулей установить. Но логика обработки, сложные маршруты настолько замедляет эту систему… Не случайно ограничиваются 4-6 модулями. Это то количество, с которым можно справиться оптимально.

- - 

Правильно я понимаю, что продавать решение вы готовы, как в виде кластера, так и в виде отдельных модулей?

▫️ Михаил Бирюков, НИИТМ: Мы верим в то, что в 300-мм истории будут востребованы кластеры, а не модули. Как мы показывали, у нас были модули сделаны в самостоятельном исполнении. Но это были экспериментальные образцы. Много раз перетаскивать пластину между отдельными модулями, не объединенными в единый транспорт, на мой взгляд, малоэффективно. Ставить на каждый модуль EFEM-распаковщик тоже достаточно затратно. Одно дело, когда он стоит на кластере, другое – когда для каждого модуля нужен отдельный распаковщик. Мы стараемся сделать универсальное оборудование, оптимальное для многих применений.

- - 

По компонентам как обстоят дела? Как я понимаю, далеко не все пока что отечественное в этих установках? С насосами у нас обычно не очень…

▫️ Михаил Бирюков, НИИТМ: Насосы – зарубежные, наши насосы используются на менее ответственных операциях пока что. Безусловно стараемся использовать отечественное. Например, в части механообработки мы делаем сами 95% изделий на сегодняшний день. Существует программа по развитию комплектующих. В ней прописано все, что нам надо, мы участвовали в ее подготовке. Но найти изготовителей очень непросто, изделия специфические, а серии небольшие. В любом случае работа идет, даже в каких-то случаях альтернативы просматриваются, чтобы был выбор и подстраховка.

- - 

Могут ли из-за наличия в составе решения зарубежных компонентов возникать проблемы с обслуживанием у покупателей?

▫️ Михаил Бирюков, НИИТМ: Мы полностью берем на себя сервисное обслуживание нашего оборудования.

- - 

Рассматриваете ли поставки не только в Китай, но и в Индию?

▫️ Михаил Бирюков, НИИТМ: Рассматриваем это направление.

- - 

Есть ли какие-то конкретные планы по поставкам кластеров ПХО и ПХТ на 2026 внутри страны?

▫️ Михаил Бирюков, НИИТМ: На сегодняшний день только-только подписаны акты госприемки. А для реализации подобных проектов в области микроэлектроники проходят ощутимые сроки: согласования ТЗ сравнительно длительные.

Кто потенциально мог бы интересоваться решением в России, кроме Микрона? Кремний ЭЛ, НМ-Тех?

▫️ Михаил Бирюков, НИИТМ: С Кремний ЭЛ мы плотно работаем, это хороший потребитель, но им пока что вряд ли могут быть интересны технологии на пластинах 300 мм. НМ-Тех – да, вполне могли бы заинтересоваться, если про отечественных говорим.

В целом есть осознание, что нужны российские микросхемы, а для их производства нужно отечественное оборудование.

- - 

Вы коротко упомянули, что идет работа над ионным имплантером. Не добавите деталей?

▫️ Александр Кравцов, НИИМЭ: Очень сложный в плане технологий проект. Было сложно собрать команду, т.к. специалистов почти не осталось. В процессе работы постоянно возникали новые вызовы и задачи, которые приходилось решать совместно с коллегами. Эта работа наравне с оборудованием для ПХТ, ПХО и оборудованием для фотолитографии является одной из самых сложных, наукоемких и ключевых для создания собственной технологической линейки.

▫️ Михаил Бирюков, НИИТМ: Мы практически с нуля начали эту тему. Были буквально два специалиста за 80 лет, которые обладают необходимыми знаниями и компетенциями. Но мы даже не представляли, когда входили в эту работу, насколько она сложная. Пока что ориентируемся на пластины 200 мм применительно к ней, но даже с этим размером есть сложности. Год готовились, разбирались. Занялись исполнением в той же конфигурации: НИИМЭ-НИИТМ и еще коллеги из Института ядерной физики (ИЯФ СО РАН), который делал СКИФ.

На каждом этапе возникают новые и новые инженерные задачи. Они в теории, решаемые, но, чтобы их решить, требуется время. Усугубляется все тем, что если в темах ПХО и ПХТ в прошедшие годы немало делалось, то в теме ионной имплантации был перерыв продолжительностью 30 лет. Поэтому кроме нас никто не хотел даже браться за это. У нас уже сформирована команда, которая разбирается в этой теме - понимает физику процесса, занимается моделированием. Но от этого до конечного изделия предстоит еще большая работа.

- - 

В НИИТМ и НИИМЭ занимаются новыми материалами? Арсенид галлия, нитрид галлия, алмазы?

▫️ Михаил Бирюков, НИИТМ: Делаем. У нас есть оборудование по эпитаксиальному выращиванию на кремниевых пластинах нитрида галлия. Удалось собрать команду, привлечь коллег из Петербурга, из Физико-технического института им. А. Ф. Иоффе (НТЦ микроэлектроники РАН). И конечно, специалисты, которые занимаются математическим моделированием практически всех наших техпроцессов, реакторов.

Оборудование уже выпущено. Одну установку у нас забрали в НИИМЭ, делают на ней структуры. Еще одна установка отправлена в НИЯУ МИФИ.

▫️ Александр Кравцов, НИИМЭ: Как сказал Михаил Георгиевич, одну из установок приобрели мы. С ее помощью сейчас разрабатываются эпитаксиальные гетероструктуры на основе нитрида галлия. Тут мы пока находимся на уровне первых образцов структур. При этом, если говорить про арсенид галлия, то год назад мы завершили похожую работу совместно с нашим дочерним предприятием «Коннектор оптикс». По ее итогам эпитаксиальные гетероструктуры GaAs мы производим серийно в России для различных диаметров пластин. При этом качество структур не уступает зарубежным. Спрос на них растет. Надеемся, что и с нитридом галлия будет та же история.

▫️ Михаил Бирюков, НИИТМ: На сегодня спрос на эти структуры уже есть, но пока что он удовлетворяется в Китае. Но очень скоро можно будет покупать здесь, у наших коллег из НИИМЭ.

-- 

На этом завершилась кулуарная часть сессии вопросов и ответов (с публичной частью можно ознакомиться здесь). 

Оглавление материалов, посвященных встрече - здесь

--

За новостями наземного и спутникового телекома удобно следить в телеграм-канале abloud62. Региональные новости телекома, новости искусственного интеллекта и ЦОД вы найдете в канале abloudRealTime, новости микроэлектроники можно найти в моем канале RUSmicro, также подключайтесь к каналу Бойко про телеком ВКонтакте

теги: микроэлектроника ПХО ПХТ плазмохимического производственное оборудование Элемент НИИМЭ НИИТМ

--