Ответы на вопросы генерального директора НИИМЭ Александра Сергеевича Кравцова и Михаила Георгиевича Бирюкова, генерального директора АО НИИТМ, на встрече 10 декабря 2025, посвященной успешному завершению разработки кластеров ПХО и ПХТ для обработки пластин диаметром 300 мм. 

Вы создали только одну установку ПХО и ПХТ?

▫️ Михаил Бирюков, НИИТМ: На этой неделе, в первую декаду декабря 2025 года, были подписаны документы госприемки на кластер ПХО и на кластер ПХТ. 
Мы готовы к производству такого оборудования. Выпускать 1-2 кластера в год – это была бы немалая победа. Учитывая наш опыт с созданием оборудования под пластины 200 мм, я уверен, что мы подойдем к тому времени, как эти установки под 300 мм окажутся востребованы. Альтернатив созданию линий под 300 мм нет. Если, конечно, мы хотим создавать какие-то серьезные проекты.

▫️ Александр Кравцов, НИИМЭ: Такое оборудование создается всегда под конкретного заказчика. Число модулей в кластере (от 2 до 8), их тип – определяется заказчиком, настраивается под техпроцессы заказчика. Зарубежные производители работают аналогично, это всегда индивидуальные поставки, учитывающие пожелания заказчика.

- -

Ориентируетесь только на российских заказчиков?

▫️ Александр Кравцов, НИИМЭ: Нет, об экспорте тоже задумываемся, в 2026 году повезем презентацию разработки в Китай. Вы понимаете, что сейчас с экспортом есть определенные сложности из-за санкций. Но есть рынки дружественных стран.

▫️ Михаил Бирюков, НИИТМ: Мы осознаем, что рынок в РФ… локализован, завязан на бюджетное финансирование. Поэтому, конечно, думаем об экспорте, как о способе нарастить объемы производства.

- - 

Почему все же ориентировались на 300 мм?

▫️ Александр Кравцов, НИИМЭ: Это эволюционный процесс. Когда-то начинали работать с пластинами 76 мм, даже меньше были пластины, затем появлялись пластины 100, 150, 200 мм. За рубежом уже смотрят на возможности работы с пластинами больше, чем 300 мм. Наращивание размеров – вопрос экономики производства. На пластине 300 мм помещается больше кристаллов.

(Прим. RUSmicro: Соответственно, удельная себестоимость каждого кристалла на пластине 300 мм может быть меньше, чем на пластине 200 мм, т.к. примерно тот же объем расходов делится на большее число кристаллов. Конечно, здесь не столь простая математика. Пластины 300 мм дороже, чем 200 мм, зачастую дороже и сложнее оборудование. Может быть ниже процент выхода годных. Но если все сделано правильно, то кристалл на пластине 300 мм все же стоит заметно меньше, чем на пластине 200 мм. На больших объемах производства даже небольшая разница в себестоимости дает значительный выигрыш в прибыльности производства).

▫️ Михаил Бирюков, НИИТМ: Стоит помнить и о проектных нормах. Как правило, увеличение проектных норм идет с увеличением диаметра пластин. Трудно себе представить производство по техпроцессу 28нм на пластинах 200 мм. Как правило, если ориентироваться на мировой опыт, техпроцессы от 28 нм и менее – это пластины 300 мм. Одна из причин в том, что на момент, когда осваивались техпроцессы 28 нм и более новые, уже не проектировали производственное оборудование под 200 мм.

▫️ Александр Кравцов, НИИМЭ: Переход от 200 мм к 300 мм идет где-то на уровне процесса 90 нм. Под этот техпроцесс существует оборудование и на пластинах 200 мм и на пластинах 300 мм. А уже под 65 нм, в основном, это 300 мм, найти оборудование на пластинах 200 мм под этот техпроцесс – сложнее. Тем более, если речь идет о 28 нм и менее.

- - 

Микрон ваше оборудование будет использовать в версии 200 мм?

▫️ Александр Кравцов, НИИМЭ: Пока что производство Микрон по топологическим нормам 180 нм и 90 нм (минимальный размер затвора транзистора) ориентировано на использование пластин 200 мм. Когда встанет задача перехода на более высокие топологические нормы (менее 90 нм), то уместно будет задуматься о переходе на пластины 300 мм. Это не догма, в теории можно и 28 нм выпускать на пластинах 200 мм или 100 мм, но для этого кто-то должен будет создать соответствующее оборудование.

- - 

Ваше оборудование на Микрон будет работать на пластинах 200 мм, но с какими техпроцессами? 90 нм?

▫️ Александр Кравцов, НИИМЭ: Вероятно.

▫️ Михаил Бирюков, НИИТМ: Это зависит только от желаний заказчика. Наше оборудование испытано на 65 нм. Но если его встроят в линейку 90 нм на пластинах 200 мм, оно будет работать с процессами 90 нм на пластинах 200 мм.

▫️ Александр Кравцов, НИИМЭ: Оборудование может быть подстроено под разные технологические нормы.

- - 

В России есть заказчики, которым может быть интересно ваше оборудование под техпроцесс 65нм?

▫️ Александр Кравцов, НИИМЭ: На текущий момент таких заказчиков не знаем. Вопрос стратегии государства – когда будет поручено такое производство наладить.

- - 

Планируете ли вы разработать и освоить в производстве все виды оборудования для создания полной линейки производственного оборудования, необходимого для создания технологической линии производства полупроводниковых структур по техпроцессам 65 нм?

▫️ Александр Кравцов, НИИМЭ: Мы не зацикливаемся на 65 нм. Планируем в дальнейшем двигаться к 28 нм и к более современным техпроцессам.

Что касается полной линейки оборудования, то у государства есть программа электронного машиностроения по созданию отечественного производственного оборудования и для 200 мм, и для 300 мм пластин. В рамках этой программы мы выполняем часть работ. Другую часть работ выполняют другие предприятия. В результате выполнения этой программы должны будут получиться полные линейки и под пластины 200 мм и под пластины 300 мм.

Технологические нормы будут достигаться в соответствии с техзаданиями. Может быть создано решение под 65 нм, которое постепенно можно будет довести до 28 нм, например. Это что-то ближе к дополнительным настройкам оборудования, не настолько фундаментальное, как первичная разработка и освоение производства установок. Сейчас перед нами ставили задачу – 65 нм, мы сделали.

▫️ Михаил Бирюков, НИИТМ: Давайте не будем забывать, что 300 мм и 65 нм – это первый такой опыт в стране. Дальше можно смотреть, куда двигаться, как в плане расширения линейки нашего оборудования, так и по части проектных норм. Планами делиться пока не готовы, но, разумеется, думаем, куда далее двигаться. Полученный опыт – дорогого стоит.

- - 

Для отладки процессов, для тестов вашего оборудования нужно много материалов. Откуда их получаете, учитывая современную ситуацию?

▫️ Александр Кравцов, НИИМЭ: Газы у нас отечественные. В том числе, по итогам тех работ, которые проводились по заданиям Минпромторга, а также кто-то и самостоятельно что-то делал. Там, где это возможно, мы по максимуму старались использовать отечественные материалы.
По тем материалам, которых пока нет отечественных, запланированы работы по их импортзамещению.

- - 

Удается что-то получать в рамках коллаборации с другими отраслями?

▫️ Александр Кравцов, НИИМЭ: Есть нюансы. Те материалы, которые другие отрасли производят для своих нужд, не обладают необходимым уровням чистоты. Даже материалы для медицины, для микроэлектроники недостаточно чистые.
Кооперация, естественно, происходит, но не в части закупок чего-то готового, а по части разработок – как на основе имеющихся материалов создать то, что востребовано в микроэлектронике.

- - 

Вы упомянули 28 нм – это какой-то теоретический горизонт, к которому вы будете стремиться в принципе?

▫️ Александр Кравцов, НИИМЭ: Нет, мы уже ведем соответствующие работы. И не только по 28 нм, но и ниже. Отдельные процессы, операции. По сути, это фундаментальные исследования. Но без них невозможно будет создавать оборудование и рабочие техпроцессы по передовым нормам.

- - 

Какие были инвестиции в проект, какие субсидии привлекались?

▫️ Александр Кравцов, НИИМЭ: Это открытая информация, данные есть в интернете. Мы работали по госконтрактам. Работы по ПХТ – это примерно 1.3 млрд рублей от государства, по ПХО – 1.2 млрд рублей. За свой счет мы готовили помещения (чистые зоны), создавали инженерную инфраструктуру для работы, для тестирования этого оборудования – свои инвестиции мы не раскрываем, но это, конечно, не миллиардный уровень.

- - 

Если сравнивать цены вашего оборудования с ценами зарубежного оборудования, у кого было бы выгоднее приобрести?

▫️ Михаил Бирюков, НИИТМ: Если говорить о перспективах, о полной стоимости владения, лучше покупать нашу установку по ряду причин. Но пока что мы еще не вышли на этап ценообразования, поскольку цена в немалой степени будет зависеть от спроса. Огромная разница, если у нас захотят купить 1 установку за 10 лет, другие дело, если найдутся желающие взять 10 установок в год.

Мы стремимся к тому, чтобы установки были максимально локализованы в плане комплектации в России. И надеемся, что это положительно скажется на цене.

Но есть и еще одно соображение, которое должен иметь в виду тот, кто планирует закупку оборудования. Обслуживание зарубежного оборудования на сегодня – тот еще квест. Достать необходимые запчасти, найти необходимых специалистов – та еще задача.

А мы доступны 24/7. Даже тогда, когда уже и гарантийные обязательства закончились. Мы поддерживаем своих заказчиков годами и десятилетиями. Понимаем, что многие сидят на ГОЗе, и им любой час простоя создает проблемы. В этом плане, в плане доступности сервисного обслуживания, можно говорить, что мы – вне конкуренции.

▫️ Александр Кравцов, НИИМЭ: В целом мы оцениваем, что стоимость будет сопоставимой даже на текущий момент.

▫️ Михаил Бирюков, НИИТМ: Многие предприятия, которые изначально ориентируются на импортное оборудование, покупая наше оборудование, удивляются и тому уровню сервиса, и тому чисто человеческому отношению к потребителю. От нас не уходят.

- - 

Можете ли назвать примерный жизненный цикл вашего оборудования? 10 лет? Больше?

▫️ Михаил Бирюков, НИИТМ: У нас есть опыт, когда наше оборудование остается в использовании и через 40 лет. Понятно, что такого быть не должно, что есть моральный износ. По-хорошему, оборудование, которому исполнилось 10 лет уже не имеет права быть в технологической цепочке. Но это цифра, которая в мире наблюдается. У нас ситуация немного иная.

Но ресурс 10-15 лет при условии должного поддержания, это вполне реально.

▫️ Александр Кравцов, НИИМЭ: И, как мы уже говорили, на примере того комплекта оборудования, который уже поставлен на Микрон. Модернизация возможна, если она понадобится. Поменяется оснастка и кластеры перейдут на 300 мм, если заказчику это будет необходимо. И на 65 нм, опять же, если это будет необходимо.

▫️ Михаил Бирюков, НИИТМ: У нас уже есть подтвержденный опыт. Есть модули ALD 200 мм, например, они сейчас стоят в НИИМЭ, с их использованием ведутся работы по энергонезависимой памяти. Это оборудование уже лет 6 работает, коллеги дают высокие оценки.

- - 

Какие еще работы ведете по оборудованию под техпроцессы 65 нм?

▫️ Александр Кравцов, НИИМЭ: Совместно с коллегами работаем по оборудованию для ионной имплантации со сроком окончания работ 2028-2029 годы.

По литографу, насколько я знаю, коллеги открывают работы по 90 нм. Все это записано в программе ЭлМаш.

- - 

Сколько по времени занимает сборка кластерной установки? От момента заказа?

▫️ Михаил Бирюков, НИИТМ: 1.5 года. С учетом поставки комплектации. Делать оборудование мирового уровня, не используя какую-то зарубежную комплектацию, - на сегодня невозможно. Да и получение ряда отечественных изделий тоже требует изрядного времени. Например, пока мы не закупили и не запустили свою металлообработку, срок изготовления корпусных реакторных изделий у стороннего исполнителя доходил до 7 месяцев. Нам было очень сложно уложиться в сроки, диктуемые ОКР. Сейчас, когда обзавелись собственным центром, и сроки сократились, и стоимость этих изделий.

- -

Сложно ли было создать чистые помещения под установки ПХТ и ПХО?

▫️ Михаил Бирюков, НИИТМ: По-сути мы создавали чистое помещение (ISO6 / ИСО 14644-6:2007) дважды. Вначале мы создали чистое помещение под экспериментальное оборудование. Были проведены необходимые измерения. Далее оборудование дорабатывалось, заменялись какие-то блоки, помещение теряло чистоту, продувалось, доводилось до заданной чистоты. Точки подключения изменялись. На экспериментальном этапе модули были еще не в кластерном исполнении, а в автономном. На них отрабатывалась технология, как таковая. Затем их перевели в кластерную версию, соответственно поменялись точки подключения.

-- 

На этом завершилась публичная сессия вопросов и ответов, но у автора этого конспекта была еще возможность задать несколько вопросов в кулуарах встречи. 

Оглавление материалов, посвященных встрече - здесь

--

За новостями наземного и спутникового телекома удобно следить в телеграм-канале abloud62. Региональные новости телекома, новости искусственного интеллекта и ЦОД вы найдете в канале abloudRealTime, новости микроэлектроники можно найти в моем канале RUSmicro, также подключайтесь к каналу Бойко про телеком ВКонтакте

теги: микроэлектроника ПХО ПХТ плазмохимического производственное оборудование Элемент НИИМЭ НИИТМ

--