Оборудование ПХО и ПХТ разработки ГК Элемент

10.11.2025, MForum.ru

Презентации со встречи 10 декабря 2025 года

2025.12.10 Презентация Александра Сергеевича Кравцова, генерального директора НИИМЭ "Крупнейший в России комплекс по проведению научно-технологических исследований и разработок в области микро- и наноэлектроники".

2025.12.10 Презентация Михаила Георгиевича Бирюкова, генерального директора АО НИИТМ, на встрече, посвященной успешного завершения разработки кластеров ПХО и ПХТ для обработки пластин диаметром 300 мм.

2025.12.10 Сессия вопросов и ответов с руководителями НИИМЭ и НИИТМ

2025.12.10 Дополнительная сессия вопросов и ответов с руководителями НИИМЭ и НИИТМ

Фоторепортаж

2025.12.10 Экспериментальный производственный участок ПХТ и ПХО на Микрон. Фоторепортаж. Часть 1

Справочные материалы

Для чего нужны кластерные комплексы?

Что такое ПХО (плазмохимическое осаждение) и ПХТ (плахмохимическое травление)

Особенности разработанного российского оборудования ПХО и ПХТ. Состав оборудования

Особенности разработанного российского оборудования ПХО и ПХТ. Примеры структур 65нм

Выводы и что дальше

Новости

2025.12.10 В ГК Элемент разработали оборудование ПХО и ПХТ для техпроцессов вплоть до 65нм на пластинах 300мм - новость на основе пресс-релиза компаний

2025.03.20 В НИИТМ завершают создание опытной установки ПХО для пластин 300 мм

За новостями наземного и спутникового телекома удобно следить в телеграм-канале abloud62. Региональные новости телекома, новости искусственного интеллекта и ЦОД вы найдете в канале abloudRealTime, новости микроэлектроники можно найти в моем канале RUSmicro, также подключайтесь к каналу Бойко про телеком ВКонтакте

теги: микроэлектроника ПХО ПХТ плазмохимического производственное оборудование Элемент НИИМЭ НИИТМ

Публикации по теме:

10.12. [Новости компаний] Микроэлектроника: Сессия вопросов и ответов с руководителями НИИМЭ и НИИТМ 10 декабря 2025 года / MForum.ru

10.12. [Новости компаний] Микроэлектроника: Дополнительная сессия вопросов и ответов с руководителями НИИМЭ и НИИТМ 10 декабря 2025 года / MForum.ru

10.12. [Новости компаний] Микроэлектроника: Презентация НИИТМ "Отечественное технологическое оборудование для микроэлектроники. Кластеры ПХО, ПХТ" / MForum.ru

10.12. [Новости компаний] Микроэлектроника: Презентация НИИМЭ "Крупнейший в России комплекс по проведению научно-технологических исследований и разработок в области микро- и наноэлектроники" / MForum.ru

10.12. [Новости компаний] Микроэлектроника: Экспериментальный производственный участок ПХТ и ПХО на Микрон. Фоторепортаж. Часть 1 / MForum.ru