Сегодня зрелые технологические процессы с топологическими нормами 45-90 нм на мировом рынке обеспечивают наиболее массовый выпуск микросхем для автомобильной и авиакосмической промышленности, систем автоматизации и управления. При выборе установок для их изготовления чаще всего предпочтение отдают кластерным комплексам, структура которых позволяет повысить экономическую эффективность фабрик. Российские предприятия АО НИИМЭ и АО НИИТМ теперь обладают компетенциями в разработке и производстве кластерных систем для процессов ПХО и ПХТ на пластинах до 300 мм.

Важно, что в дальнейшем разработанные и аттестованные в рамках проекта базовые технологические процессы осаждения и травления диэлектрических слове можно применять как для существующих техпроцессов, так и для перспективных, вплоть до 28нм. Благодаря новому оборудованию учены и инженеры создали значимый задел на несколько ближайших лет.

Оглавление материалов по теме ПХО и ПХТ - здесь

--

За новостями наземного и спутникового телекома удобно следить в телеграм-канале abloud62. Региональные новости телекома, новости искусственного интеллекта и ЦОД вы найдете в канале abloudRealTime, новости микроэлектроники можно найти в моем канале RUSmicro, также подключайтесь к каналу Бойко про телеком ВКонтакте

теги: микроэлектроника ПХО ПХТ плазмохимического производственное оборудование Элемент НИИМЭ НИИТМ

--