Микроэлектроника: Экспериментальный производственный участок ПХТ и ПХО на Микрон. Фоторепортаж. Часть 1

10.12.2025, MForum.ru

НИИМЭ и НИИТМ (оба предприятия входят в ГК Элемент) завершили завершили разработку и сборку первых в России кластерных систем для процессов плазмохимического осаждения (ПХО) и травления (ПХТ). Вашему вниманию - фотографии рабочих установок, развернутых на производстве Микрон.

фрагмент кластерной установки ПХО (плазмо-химического осаждения), фото - RUSmicro

,

фрагмент кластерной установки плазмохимического травления, фото - RUSmicro

Оглавление материалов, посвященных встрече - здесь

--

За новостями наземного и спутникового телекома удобно следить в телеграм-канале abloud62. Региональные новости телекома, новости искусственного интеллекта и ЦОД вы найдете в канале abloudRealTime, новости микроэлектроники можно найти в моем канале RUSmicro, также подключайтесь к каналу Бойко про телеком ВКонтакте

теги: микроэлектроника ПХО ПХТ плазмохимического производственное оборудование Элемент НИИМЭ НИИТМ Микрон

Публикации по теме:

10.12. [Новости компаний] Микроэлектроника: Презентация НИИТМ "Отечественное технологическое оборудование для микроэлектроники. Кластеры ПХО, ПХТ" / MForum.ru

10.12. [Новости компаний] Микроэлектроника: Презентация НИИМЭ "Крупнейший в России комплекс по проведению научно-технологических исследований и разработок в области микро- и наноэлектроники" / MForum.ru

10.12. [Новости компаний] Микроэлектроника: В ГК Элемент разработали оборудование ПХО и ПХТ для техпроцессов вплоть до 65нм на пластинах 300мм / MForum.ru

02.12. [Новости компаний] Микроэлектроника: Минпромторг введет баллы российскости для производственного оборудования микроэлектроники / MForum.ru

29.11. [Новости компаний] Микроэлектроника: На рынке танталовых конденсаторов растут цены – «спасибо» ИИ / MForum.ru