Микроэлектроника: Экспериментальный производственный участок ПХТ и ПХО на Микрон. Фоторепортаж. Часть 1

10.12.2025, MForum.ru

НИИМЭ и НИИТМ (оба предприятия входят в ГК Элемент) завершили завершили разработку и сборку первых в России кластерных систем для процессов плазмохимического осаждения (ПХО) и травления (ПХТ). Вашему вниманию - фотографии рабочих установок, развернутых на производстве Микрон.

фрагмент кластерной установки ПХО (плазмо-химического осаждения), фото - RUSmicro

,

фрагмент кластерной установки плазмохимического травления, фото - RUSmicro

Оглавление материалов, посвященных встрече - здесь

--

За новостями наземного и спутникового телекома удобно следить в телеграм-канале abloud62. Региональные новости телекома, новости искусственного интеллекта и ЦОД вы найдете в канале abloudRealTime, новости микроэлектроники можно найти в моем канале RUSmicro, также подключайтесь к каналу Бойко про телеком ВКонтакте

теги: микроэлектроника ПХО ПХТ плазмохимического производственное оборудование Элемент НИИМЭ НИИТМ Микрон

Публикации по теме:

04.01. [Новости компаний] Микроэлектроника: Правительство США вернуло разрешения TSMC, Samsung и SK Hynix на закупку американского оборудования для заводов компаний в Китае, но есть нюанс / MForum.ru

26.12. [Новости компаний] Микроэлектроника: Китайская SMEE получила стратегический госконтракт на поставку литографа / MForum.ru

22.12. [Новости компаний] Микроэлектроника: Минпромторг планирует реализовать в 2026 году более 20 проектов в рамках программы ЭлМаш / MForum.ru

18.12. [Новости компаний] Микроэлектроника: В Китае разработан фотолитограф EUV - но пока что не поставлен на производство / MForum.ru

10.12. [Новости компаний] Микроэлектроника: Сессия вопросов и ответов с руководителями НИИМЭ и НИИТМ 10 декабря 2025 года / MForum.ru