Микроэлектроника: Экспериментальный производственный участок ПХТ и ПХО на Микрон. Фоторепортаж. Часть 1

10.12.2025, MForum.ru

НИИМЭ и НИИТМ (оба предприятия входят в ГК Элемент) завершили завершили разработку и сборку первых в России кластерных систем для процессов плазмохимического осаждения (ПХО) и травления (ПХТ). Вашему вниманию - фотографии рабочих установок, развернутых на производстве Микрон.

фрагмент кластерной установки ПХО (плазмо-химического осаждения), фото - RUSmicro

,

фрагмент кластерной установки плазмохимического травления, фото - RUSmicro

Оглавление материалов, посвященных встрече - здесь

--

За новостями наземного и спутникового телекома удобно следить в телеграм-канале abloud62. Региональные новости телекома, новости искусственного интеллекта и ЦОД вы найдете в канале abloudRealTime, новости микроэлектроники можно найти в моем канале RUSmicro, также подключайтесь к каналу Бойко про телеком ВКонтакте

теги: микроэлектроника ПХО ПХТ плазмохимического производственное оборудование Элемент НИИМЭ НИИТМ Микрон

Публикации по теме:

11.03. Applied Materials объединяет усилия с Micron и SK Hynix для разработки DRAM, HBM и NAND следующего поколения

03.03. ASML планирует расширение линейки производственного оборудования

27.02. ASML объявляет о готовности High-NA EUV к массовому производству AI-чипов

25.02. Микрон разработает установку измерения рассовмещения топологических слоев на пластинах 150 и 200 мм

03.02. Российский фотолитограф Прогресс СТП-350 оценили в 392 млн (без НДС)

25.01. Азия продолжает формировать основную долю в расходах на оборудование для производства полупроводников

20.01. В ASMI радуются росту заказов из Китая

04.01. Правительство США вернуло разрешения TSMC, Samsung и SK Hynix на закупку американского оборудования для заводов компаний в Китае, но есть нюанс

26.12. Китайская SMEE получила стратегический госконтракт на поставку литографа

22.12. Минпромторг планирует реализовать в 2026 году более 20 проектов в рамках программы ЭлМаш