MForum.ru
10.11.2025,
Примеры структур, создаваемых с помощью оборудования ПХО и ПХТ разработки НИИТМ (ГК Элемент)
Структуры с канавками
фото пресс-службы ГК Элемент
На фото - сформированные на установке НИИТМ (ГК Элемент) структуры с кремниевыми канавками шириной 65 нм.
Структуры с полосами
фото пресс-службы ГК Элемент
На фото изображены структуры с полосами поликремния шириной 65 нм
Оглавление материалов по теме ПХО и ПХТ - здесь
--
За новостями наземного и спутникового телекома удобно следить в телеграм-канале abloud62. Региональные новости телекома, новости искусственного интеллекта и ЦОД вы найдете в канале abloudRealTime, новости микроэлектроники можно найти в моем канале RUSmicro, также подключайтесь к каналу Бойко про телеком ВКонтакте
теги: микроэлектроника ПХО ПХТ плазмохимического производственное оборудование Элемент НИИМЭ НИИТМ
--
Публикации по теме:
10.12. Сессия вопросов и ответов с руководителями НИИМЭ и НИИТМ 10 декабря 2025 года
10.12. Дополнительная сессия вопросов и ответов с руководителями НИИМЭ и НИИТМ 10 декабря 2025 года
10.12. Экспериментальный производственный участок ПХТ и ПХО на Микрон. Фоторепортаж. Часть 1
10.12. В ГК Элемент разработали оборудование ПХО и ПХТ для техпроцессов вплоть до 65нм на пластинах 300мм
10.11. Оборудование ПХО и ПХТ разработки ГК Элемент: Для чего нужны кластерные комплексы?
10.11. Что такое ПХО (плазмохимическое осаждение) и ПХТ (плазмохимическое травление)
10.11. Особенности разработанного российского оборудования ПХО НИИТМ и ПХТ НИИТМ. Состав оборудования
10.11. Оборудование ПХО и ПХТ разработки ГК Элемент: Выводы
10.11. Оборудование ПХО и ПХТ разработки ГК Элемент
20.03. В НИИТМ завершают создание опытной установки ПХО для пластин 300 мм
23.10. 
Рынок оборудования для производства микроэлектроники
19.03. В России освоили производство активных лазерных элементов
19.03. В Ростехе запаздывают с серийным выпуском базовых станций сотовой связи
19.03. Рынок ПК в России упал и вряд ли вырастет в ближайшее время
19.03. МТС в Забайкальском крае - мобильный интернет ускорен в посёлке Ясногорск
18.03. KDDI внедряет многофункциональную систему оптимизации сети на основе искусственного интеллекта
18.03. В Японии додумались до аварийного роуминга
18.03. Samsung смог продать свои микросхемы HBM4 компании AMD
18.03. Nvidia надеется, что все же сможет поставить чипы H200 клиентам в Китае
18.03. МегаФон в Оренбургской области - покрытие 4G улучшено у Сорочинского водохранилища
18.03. Билайн сообщает о расширении покрытия и умощнении сети в ряде городов и районов региона
18.03. МТС предложила абонентам в Московском регионе роутер Wi-Fi 6 в корпусе собственного дизайна
17.03. Билайн - количество БС 4G в Иркутской области увеличено на 76% в 2026 году
17.03. МТС в Чеченской Республике - сеть запущена в горном селе Сюжи
17.03. Salience Labs и Keysight построят среду тестирования оптических коммутаторов
17.03. МТС подключил кроссоверы Jetour к своей мобильной сети
19.03. Ulefone RugKing 5 Pro – 20 000 мАч, 1202 светодиода и ночное видение за 270 долларов
19.03. Oppo A6s 5G – 80-ваттная зарядка и IP69 за 18 999 рупий
19.03. FOSSiBOT F116 Pro – компактный защищенный смартфон с креплением для экшн-камеры
18.03. Samsung Galaxy M17e 5G – ребрендинг A07 с батареей 6000 мАч за 140 долларов
18.03. Oppo Watch X3 – титан, сапфир и мониторинг глюкозы
18.03. Oppo Find N6 появился на глобальном рынке
17.03. Представлен Vivo Y51 Pro 5G с батареей 7200 мАч и защитой IP69
17.03. iQOO Z11x 5G – батарея 7200 мАч и мощный чип за 205 долларов
17.03. Realme C100 5G с экраном 144 Гц и АКБ 7000 мАч засветился у европейского ритейлера
16.03. Представлен Lava Bold 2 5G с плоским экраном, чистым Android и демократичной ценой
16.03. Раскрыты характеристики Oppo Pad 5 Pro – мощный планшет с батареей 13 000 мАч
16.03. Nubia набирает тестировщиков OpenClaw AI на Z80 Ultra
13.03. Представлен Motorola Edge 70 Fusion+ с улучшенной камерой
13.03. Energizer P30K Apex, смартфон с батареей 30 000 мАч, ожидается в июне
12.03. Honor 600 Lite – металл, AMOLED и батарея на 6520 мАч за €300
12.03. В Китае стартовали продажи Honor Magic V6 с рекордной батареей
12.03. OPPO K14x 5G – новая базовая версия за 12 999 рупий
11.03. Vivo V70 FE – 200 мегапикселей и 7000 мАч
11.03. Realme Note 80 – ультрабюджетник с батареей на 6300 мАч