Особенности разработанного российского оборудования ПХО НИИТМ и ПХТ НИИТМ. Примеры структур

10.11.2025, MForum.ru

Примеры структур, создаваемых с помощью оборудования ПХО и ПХТ разработки НИИТМ (ГК Элемент)

Структуры с канавками

фото пресс-службы ГК Элемент

На фото - сформированные на установке НИИТМ (ГК Элемент) структуры с кремниевыми канавками шириной 65 нм.

Аспектное соотношение 1:4
Можно наблюдать 100% конформное заполнение канавки, без пустот, без швов.

Структуры с полосами

фото пресс-службы ГК Элемент

На фото изображены структуры с полосами поликремния шириной 65 нм

Аспектное соотношение (ширина к глубине) 1:2
Получен равномерный слой как на горизонтальных, так и на вертикальных поверхностях структуры (без швов, без пустот).

Оглавление материалов по теме ПХО и ПХТ - здесь

За новостями наземного и спутникового телекома удобно следить в телеграм-канале abloud62. Региональные новости телекома, новости искусственного интеллекта и ЦОД вы найдете в канале abloudRealTime, новости микроэлектроники можно найти в моем канале RUSmicro, также подключайтесь к каналу Бойко про телеком ВКонтакте

теги: микроэлектроника ПХО ПХТ плазмохимического производственное оборудование Элемент НИИМЭ НИИТМ

Публикации по теме:

10.12.2025. Сессия вопросов и ответов с руководителями НИИМЭ и НИИТМ 10 декабря 2025 года

10.12.2025. Дополнительная сессия вопросов и ответов с руководителями НИИМЭ и НИИТМ 10 декабря 2025 года

10.12.2025. Презентация НИИТМ "Отечественное технологическое оборудование для микроэлектроники. Кластеры ПХО, ПХТ"

10.12.2025. Презентация НИИМЭ "Крупнейший в России комплекс по проведению научно-технологических исследований и разработок в области микро- и наноэлектроники"

10.12.2025. Экспериментальный производственный участок ПХТ и ПХО на Микрон. Фоторепортаж. Часть 1

10.12.2025. В ГК Элемент разработали оборудование ПХО и ПХТ для техпроцессов вплоть до 65нм на пластинах 300мм

10.11.2025. Оборудование ПХО и ПХТ разработки ГК Элемент: Для чего нужны кластерные комплексы?

10.11.2025. Что такое ПХО (плазмохимическое осаждение) и ПХТ (плазмохимическое травление)

10.11.2025. Особенности разработанного российского оборудования ПХО НИИТМ и ПХТ НИИТМ. Состав оборудования

10.11.2025. Оборудование ПХО и ПХТ разработки ГК Элемент: Выводы