Примеры структур, создаваемых с помощью оборудования ПХО и ПХТ разработки НИИТМ (ГК Элемент)

Структуры с канавками 

 фото пресс-службы ГК Элемент

На фото - сформированные на установке НИИТМ (ГК Элемент) структуры с кремниевыми канавками шириной 65 нм.

• Аспектное соотношение 1:4
  
  
• Можно наблюдать 100% конформное заполнение канавки, без пустот, без швов.

Структуры с полосами

фото пресс-службы ГК Элемент

На фото изображены структуры с полосами поликремния шириной 65 нм

• Аспектное соотношение (ширина к глубине) 1:2
  
  
• Получен равномерный слой как на горизонтальных, так и на вертикальных поверхностях структуры (без швов, без пустот).

Оглавление материалов по теме ПХО и ПХТ - здесь 

--

За новостями наземного и спутникового телекома удобно следить в телеграм-канале abloud62. Региональные новости телекома, новости искусственного интеллекта и ЦОД вы найдете в канале abloudRealTime, новости микроэлектроники можно найти в моем канале RUSmicro, также подключайтесь к каналу Бойко про телеком ВКонтакте

теги: микроэлектроника ПХО ПХТ плазмохимического производственное оборудование Элемент НИИМЭ НИИТМ

--