Речь идет о машинах ASML High-NA EUV, предположительно о тех двух машинах с высокой числовой апертурой, что развернуты в конце 2024 года на фабе Intel DХ1 в Портленде, Орегон.

На конференции в Сан-Хосе, старший главный инженер Intel Стив Карсон сказал, что Intel произвела 30 тысяч пластин за квартал с помощью машин High-NA EUV. В 2024 году Intel стала первым в мире производителям, развернувшим эти машины, от которых ожидают выхода в дальнейшем на техпроцессы 1.8нм и менее.

Г-н Карсон отметил, что новые машины ASML примерно вдвое надежнее, чем машины предыдущего поколения, как показал начальный этап тестирования. В частности, они позволяют поддерживать выпуск пластин с постоянной скоростью и с меньшим числом экспозиций, что экономит время и деньги. По его словам, машины High-NA EUV позволяют получать результат, на который у более ранних машин уходило 3 экспозиции и около 40 этапов обработки, за 1 экспозицию и «однозначное» (менее 10) число этапов обработки.

Intel тестирует новые машины в рамках техпроцесса 18А, который как ожидается, будет применяться для массового производства чипов в конце 2025 года, кроме того, компания готовится задействовать новые машины для следующей производственной технологии 14А, но пока что не ясно, когда компания планирует ее внедрить.

по материалам Reuters

--

За новостями телекома и IT удобно следить в телеграм-канале abloud62. Региональные новости и анонсы пресс-релизов вы найдете в канале abloudRealTime, также подключайтесь к каналу Бойко про телеком ВКонтакте

теги: тренды микроэлектроника фотолитография 18А 14А техпроцессы

--