Источником рентгеновского излучения для нового литографа, как ожидается, станет сооружаемый в Кольцово под Новосибирском синхротрон СКИФ (Сибирский кольцевой источник фотонов), который может стать первым в мире источником синхротронного излучения с энергией 3 ГэВ и малым эмиттансом (менее 100 пм.рад).

Фотолитограф Орёл-7 - опытный литограф, который планируется создать на базе СКИФ. От него ожидают возможности поддержать техпроцессы ниже 28нм. Об этом сообщает Интерфакс.

Разработкой занимаются ученые Центра искусственного интеллекта НГУ, Института физики полупроводников СО РАН и Института вычислительной математики и математической геофизики СО РАН.

Промышленный рентгеновский литограф можно будет развернуть на базе синхротрона в Зеленограде.

Не будем забывать, что даже если с литографом все "срастется", для промышленного производства микросхем по техпроцессам ниже 28 нм требуется около 100 различных установок. Которых на сегодня в России нет, как импортных, так и отечественных. Разработать их за 1-2 года вряд ли возможно.

Так что хорошо, что какое-то движение вперед осуществляется, но на быстрый практический "выхлоп" я бы не рассчитывал.

--

За новостями наземного и спутникового телекома удобно следить в канале Бойко про телеком ВКонтакте.
Новости микроэлектроники можно найти в моем ВК-канале RUSmicro 

теги: микроэлектроника горизонты технологий рентгеновские фотолитографы рентгеновские литографы СКИФ Орёл-7

--